クリーンルーム

納入先／国内公設研究機関様

室内を陽圧に清浄度はISO　Class6および7（旧米国連邦規格：クラス1,000および10,000）に制御しています
ドラフトチャンバの機能保持、室圧保持に差圧ダンパ方式を取り入れ設計施工を行いました。
温度22℃±3℃、湿度は50％±10％に制御しています。
パトライト設置：室圧異常・温室異常などのトラブル発生時に異常を警告。エアシャワーは、インターロックON/OFF機構を採用。
MEMS実験室Ⅰの照明は紫外線カット方式を採用。